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   펨토초 레이져 어블레이션을 이용한 Si 웨이퍼의 미세 관통 홀 가공
구 분 국내학술전문지 기 간 2007.10
제 목 펨토초 레이져 어블레이션을 이용한 Si 웨이퍼의 미세 관통 홀 가공
비고(게재지 등) IMAPS(Vol.14 29-36)



    


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